コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場）は、2009年6月15日産業用低コストエキシマレーザLEAP(波長：248/308 nm、安定化エネルギー：650 mJ、最大繰返周波数200 Hz、最大安定化出力：130W)をリリースした。

新製品LEAPは、超小型電子部品やメディカルデバイス製造の微細加工用途向けに開発された低コストタイプのエキシマレーザで、初期費用と維持費用を抑えながら、高出力を実現する。そのため、低コストと高スループットが課題とされる小型で高機能なデバイス(電子、化学、バイオ等)の微細加工に適している。

また、既に信頼性が実証されている電極設計とNovatube®技術の採用により、レーザガス寿命及びチューブ寿命が向上し、ワットあたりのランニングコストの低減を可能にした。LEAPは、最新のUVレーザ技術と製造現場からの経験を取り入れ、今日要求される高性能、低価格、低維持費を実現したエキシマレーザである。

• 波長： 248 / 308 nm
• 安定化エネルギー： 550 - 650 mJ
• 最大安定化出力： 130W
• 最大繰返周波数： 200 Hz

• テクスチャリング
• マーキング
• レーザアニーリング
• パルスレーザ成膜(PLD)
• インクジェットノズル加工

• 低価格
• 低維持費
• 高出力
• 長寿命レーザチューブ採用

お客様からのお問い合わせ先
コヒレント・ジャパン株式会社　営業部
TEL：03-5365-7100
E-mail: sales.tokyo@coherent.com

プレス・報道関係者からのお問い合わせ先
コヒレント・ジャパン株式会社　マーケティングコミュニケーション部
TEL 03-5365-7122
E-mail: marcom.tokyo@coherent.com