Eシリーズ マイクロプローブ&チャンバ
●IV, CV, PL, EL 測定、半導体特性測定、ホール効果測定、DLTS測定等各種測定用
●プローブ軸の支点がチャンバ内に有るため振動に強く、プロービング精度が高い
●オプションの冷却・加熱機構は温度範囲により各種の冷却・加熱方式を組込可能
常温試料台モデル
常温試料台モデル
加熱試料台モデル
加熱試料台モデル
冷却・加熱試料台モデル
舟型試料台組込 冷却・加熱モデル
Model E-LN 液体窒素フロー冷却・加熱機構組込み
液体窒素冷却・加熱機構組込 モデル E-ULN
Model E-8
モデル E8(マイクロプローブ8台取付)
冷却・加熱機構組込
Eモデル 顕微鏡組込 液体窒素冷却・加熱マイクロプローバ
E モデル 顕微鏡組込 液体窒素冷却・加熱マイクロプローバ
Model iE-LH/LN
液体窒素冷却・加熱機構組込/
ホール効果測定用 E モデル マイクロプローブ
■仕様
マイクロプローブ/台数 Eモデルマイクロプローブ(Oリングシール)/最大8台
到達真空度 5×10−4 Pa
探針移動距離 微調:X軸(左右)±10mm、Y軸(前後)±12mm、Z軸(上下)±2.5mm
粗調:Y軸(前後)±10mm *移動距離の大きいものも可。(お問い合わせ下さい)
冷却・加熱機構及び加熱機構温度範囲 <冷却・加熱機構の場合>
 約18K~100℃(GM冷凍機組込モデル)
 80K~723K(超小型冷却・加熱器組込モデル)
 100K~200℃/110K~400℃/140K~600℃(液体窒素冷却モデル)
<加熱専用の場合>
 約100℃~450℃
※ご要望の温度範囲により打合せの上、冷却・加熱方式を選択可能。詳細はお問い合わせください。
チャンバサイズ 外径:120mmØ 高さ:30mm 内径:80mm(オプションの底蓋付の場合、高さ35mm) *大きいサイズも可。(お問い合わせ下さい)
ワーキングディスタンス 17.5mm
チャンバ材質 ◎アルミニウム
◎オプション:ステンレス
探針材質 タングステン
ビューポート ◎標準仕様:簡易取外し式、パイレックスガラス、サファイアガラス
◎オプション:ハッチ式、サファイアガラス、石英ガラス
フィードスルー ◎標準仕様:BNCコネクタ付き
◎オプション:NW40にTRIAX、SMAコネクタ付
真空排気弁 NW25アングル弁
全体の大きさ/重さ 幅300mm×奥行き300mm×高さ65mm/約 6kg

●本モデルの外観及び仕様に付きましては、性能向上のためお断り無く変更する場合があります。

 

※弊社製の全てのマイクロプローバは、(国・研)産業技術総合研究所殿との共同研究成果を
活かして設計・製作をしています。<同所 特許番号 第3837545> 
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