Eシリーズ マイクロプローブ&チャンバ
高真空仕様 Eシリーズ(真空度 5x10-4Pa)
●IV, CV, PL, EL 測定、半導体特性測定、ホール効果測定、DLTS測定等各種測定用
●プローブ軸の支点がチャンバ内に有るため振動に強く、プロービング精度が高い
●オプションの冷却・加熱機構は温度範囲により各種の冷却・加熱方式を組込可能
●XYZ軸の可動範囲が大きい
常温試料台モデル
常温試料台モデル
加熱試料台モデル
加熱試料台モデル
冷却・加熱試料台モデル
舟型試料台組込 冷却・加熱モデル
Model E-LN 液体窒素フロー冷却・加熱機構組込み
液体窒素冷却・加熱機構組込モデル
Model iE-LH/LN
液体窒素冷却・加熱機構組込/
ホール効果測定用 E モデル マイクロプローブ
Eモデル 顕微鏡組込 液体窒素冷却・加熱マイクロプローバ
E モデル 顕微鏡組込 液体窒素冷却・加熱マイクロプローバ
Model iE-LH/LN
E モデル 5マイクロプローブモデル
■仕様
プローブ本数 1∼4本(6本まで可能)
到達真空度 5×10−4 Pa
探針移動距離 微調:X軸(左右)±8mm、Y軸(前後)±10mm、Z軸(上下)±2.5mm
粗調:Y軸(前後)±10mm *移動距離の大きいものも可。(お問い合わせ下さい)
冷却・加熱温度範囲
(オプション)
80K∼723K、110K∼473K、115K∼723K、
室温∼300℃、室温∼450℃、室温∼600℃ 等
※ご要望の温度範囲により打合せの上、冷却・加熱方式を選択可能。詳細はお問い合わせください。
チャンバサイズ 外径:120mmØ 高さ:30mm 内径:80mm(オプションの底蓋付の場合、高さ35mm) *大きいサイズも可。(お問い合わせ下さい)
ワーキングディスタンス 17.5mm
チャンバ材質 ◎標準仕様:アルミニウム
◎オプション:ステンレス
探針材質 タングステン
ビューポート ◎標準仕様:簡易取外し式、パイレックスガラス
◎オプション:ハッチ式、サファイアガラス、石英ガラス
フィードスルー ◎標準仕様:BNCコネクタ付き
◎オプション:NW40にTRIAX、SMAコネクタ付
真空排気弁 NW25アングル弁
全体の大きさ/重さ 幅300mm×奥行き300mm×高さ65mm/約 6kg

●本モデルの外観及び仕様に付きましては、性能向上のためお断り無く変更する場合があります。

 

高真空仕様 iEシリーズ(真空度 5x10-4Pa)
iEシリーズハッチ式ビューポート付き
ハッチ式ビューポート付き
iEシリーズ簡易ビューポート付き
簡易式ビューポート付き
Model iE-LH/LN
液体窒素冷却・加熱機構組込 Model iE-LN
Model iE-LH/LN
液体ヘリウム/液体窒素フロー冷却・加熱機構組込
■仕様
マイクロプローブ E モデル仕様(Oリングシール)
チャンバ i モデルと同じICF114、ICF70 仕様
冷却・加熱機構 i モデルに組込可能なすべての冷却・加熱機構と同じシステム
ビューポート ハッチ式または簡易式(ビューポートガラスは温度範囲によりサファイア、
パイレックスを選択)
フィードスルー TRIAX、BNC、SMAコネクタから選択可

●本モデルの外観及び仕様に付きましては、性能向上のためお断り無く変更する場合があります。

 

※弊社製の全てのマイクロプローバは、(独)産業技術総合研究所殿との共同研究成果を活かして
設計・製作をしています。<同所 特許番号 第3837545> 
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