iシリーズ マイクロプローブ&チャンバ
●GM冷凍機、LHe/LNフロー、超小型冷却・加熱器等各種の冷却加熱機構を組込選択可能
●IV, CV, PL, EL 測定、半導体特性測定、ホール効果測定、DLTS測定等 各種測定用
●標準規格のフランジを採用しているため将来の拡張、機能追加、変更等が容易
●プローブ軸の支点がチャンバ内に有るため振動に強く、プロービング精度が高い 
Model iR/常温ステージ
常温試料台モデル
Model iCH/冷却・加熱ステージ
冷却・加熱試料台モデル
室温~900℃モデル
室温~900℃加熱試料台組込モデル
液体窒素冷却モデル
液体窒素冷却モデル(3プローブ)
4K冷凍機組込み
i モデル冷凍機組込システム
超高真空In-situ 小型パルス冷凍機組込モデル
i モデル試料作製チャンバ 一体システム
(液体ヘリウムフロー冷却機構/舟型試料台、
試料トランスファー機構、超高真空仕様)
■仕様
到達真空度 2×10-8Pa(ベーキング後)
チャンバー材質 ステンレス
試料ステージ大きさ 25×25mm または 直径30mm
探針移動距離 X軸:±10mm、Y軸:±12mm、Z軸垂直方向:±6mm
(移動距離の大きいものも可)
マイクロプローブ/台数  iモデル/最大6台
超高真空仕様のベローズとウォーブルスティック組合せ構造(特許)
探針 タングステン
4K冷凍機、LHeフロー冷却機構組込みの場合の温度範囲 約13K∼100℃
LN冷却・加熱機構組込の場合の温度範囲 100K~200℃/110K~400℃/140K~600℃(液体窒素冷却モデル)
加熱機構のみ組込みの場合の温度範囲 約100℃~450℃、600℃、900℃
チャンバーの大きさ 114mmØ×80mm(大きなチャンバも対応可)
チャンバー有効内径 63.5mmØ
ワーキングディスタンス 40mm
全体の大きさ 300×300×50∼80mm
重さ 8∼12kg

冷却方式はご要望の温度範囲により冷凍機、LHe・LN2循環冷却方式等各種機器の組込み方式が選択可能です。
極低温、高温、各種の大きさ等特別仕様のご要望にも対応致します。

※弊社製の全てのマイクロプローバは、(国・研)産業技術総合研究所殿との共同研究成果を
活かして設計・製作をしています。<同所 特許番号 第3837545>
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