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トップ特徴
  • ◎GM冷凍機、He-LN2フロー冷却、超小型冷却・加熱器等各種の冷却・加熱機構を組込選択可能
  • ◎半導体特性測定、IV, PL, EL測定、ホール効果測定、DLTS測定等 各種測定用
  • ◎プローブ軸の支点がチャンバ内に有るため振動に強く、プロービング精度が高い
  • ◎標準規格のフランジを採用しているため将来の拡張、機能追加、変更等が容易