TRIAXフィードスルー
CF70/CF34フランジ付、真空側はSMAコネクタ
TRIAX フィードスルー(3ラグ)
TRIAX フィードスルー(3ラグ)
取り付け例
■仕様
真空度 10-8Pa∼10-9Pa対応
リーク電流 0.1pA以下(ベーキング後エレクトロメータをガード接続し、バイアス電圧±1V印加時)
気密性 1×10-10Pa・m3/s以下
絶縁抵抗 1GΩ以上(常温、常湿、500V 印加)
耐電圧 AC500V(大気圧下1分印加)
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