イオンビームエッチングの終点検出を実現!
真空チャンバー内のプロセスによる発光をリアルタイムにモニタリングすることができます。
標準搭載のSpectraViewアプリケーションソフトウエアにより、励起発光した種の経時変化モニターや指定時間内の複合波長から膜種を想定可能なライブラリを搭載しています。
高感度CCDセンサを搭載し200-800nmの波長領域をサポート、UV領域の感度が高く検出困難だった微細な変化でも捉える分光計と、イオンビームエッチングチャンバーに適応した真空プローブ、サンプルステージに集光出来るプローブアライメント機構を備えます。
当システムはイオンビームエッチングプロセスの重要な補助装置として機能します。