エンドポイントディテクタ　SD2048GH

あらゆるドライエッチングと更にイオンビームエッチングの終点検出を実現! 真空チャンバー内のプロセスによる発光をリアルタイムにモニタリングすることができます。
標準搭載のSpectraViewアプリケーションソフトウエアにより、励起発光した種の経時変化モニターや指定時間内の複合波長から膜種を想定可能なライブラリを搭載しています。
高感度CCDセンサを搭載し、200-800nmの波長領域をサポート、UV領域の感度が高く、検出困難だった微細な変化でも捉える分光計を備えています。

＜用途＞
イオンビームエッチング、プラズマエッチング、反応性スパッタリング、アッシング／フォトレジスト除去、プラズマイオン注入、CVD、ベベルエッチング、CMP 等

当システムは各プロセスの重要な補助装置として機能します。
ご興味頂いた処理工程の装置をご指定下さい。各アプリケーションに適したモデルをご紹介いたします。

製造元=Verity Instruments, INC.