ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社

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〒167-0051 東京都杉並区荻窪5-22-9 藤ビル2F
TEL:03-3220-5871 FAX:03-3220-5876
e-mail:info@jawjapan.com

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M-2000

M-2000(回転補償子型高速分光エリプソメーター)

様々なオプションや波長範囲(最大193から1690nm)の組み合わせが可能な回転補償子型分光エリプソメーター

M-2000

RC2(二重回転補償子型高速分光エリプソメーター)

ミューラー行列全16要素を測定し、様々なオプションや波長範囲(最大193から2500nm)の組み合わせが可能な二重回転補償子型分光エリプソメーター

M-2000

iSE(in-situ用高速分光エリプソメーター)

リアルタイムモニタリング用に開発されたinsitu用分光エリプソメーター

alpha-SE

alpha-SE(簡易高速分光エリプソメーター)

シンプルな構成でリーズナブルな簡易分光エリプソメーター

VASE

VASE(多入射角分光エリプソメーター)

最大193から4000 nmの広い波長範囲をカバーする分光エリプソメーター

IR-VASE

IR-VASE(赤外域多入射角分光エリプソメーター)

2から30μmの広い波長範囲をカバーする赤外分光エリプソメーター

VUV-VASE

VUV-VASE(真空紫外域多入射角分光エリプソメーター)

最大146から2500nmまでの波長範囲をカバーする真空紫外域分光エリプソメーター 248 nm、193 nm、157 nmのリソグラフィ用途に最適

測定サービス

測定サービス

技術評価や機種選定はもちろんのこと、ご予算が取れないお客様に向けて導入までのつなぎとしてサンプルの測定サービスを提供しております。

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